半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
光电器件中档测封一起涉重生活污水——MVR强行配置零排项目流程
建设项目蓝本
半导技术中低端测封工程,规模化150万立米/天,是第一例半导技术测封设备配套涉重废渣零排工程。测封关键环节的镀镍、镀铜、引线方框除污会行成含镍含铜废渣,产业园区标准要求"无尾水外排",产水任何循环于产线。
水污染的特点与重点难点
污水以含镍是以(溶度10–100毫克/升),伴微量分析铜、锌,pH波动性大(2–12),还会有光刻胶残存的几瓶生物碳物。首测厂场所紧,让处置安全设施征占小;零排代表着浓水是不能土石方工程太满,有必要本机挥发晶粒闭环控制。
除理工学院艺自驾线路
整个走"分质分类整理 → 预补救除杂 → 电化学奠定除镍 → 滤过 → UF+二级RO → MVR强制性要求巡环蒸馏 → 冷却水水回收":
含镍线先调pH到10–11,添加氢被腐蚀钠产生Ni(OH)₂悠长岁月中,后加混炼橡胶钠程度收集残存镍(混炼橡胶镍Ksp比氢被腐蚀镍更小,可以镍压到0.1毫克/升下述);
沉淀出的水流经多材质滤水+联防队员滤水后进UF,再进七级RO,产水间接回产线清洁工作;
RO浓水(含盐+残留高价属)进MVR強制反复空调汽化器器,強制反复能扛高含盐积垢,空调汽化器器自带的线下洗涤,更易堵;
MVR冷却水回去回收利用鱼池,蒸发器残液委外焚化或用于危险废弃物代理,一部分车间无液体状态外排。
要点机器优缺就说明
MVR强硬反复的法不同之处平常降膜减压蒸馏,反复的法气速高、导热面容易结镍盐/碳酸盐垢,比较合适首测这般"储水量并不太但水质监测杂"的景象;整体化撬装制作占地赔偿比一般减压蒸馏塘+多效减压蒸馏实施方案小60%上述;刺鼻味道侧整套搭配微生物滤池,把转换池和厌氧颗粒污泥间的刺鼻味道持续后化学降解成CO₂和水,以免首测厂紧挨办公楼区的刺鼻味道客户投诉。
工作功效与整体
喷水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远低于《塑胶电镀被污染排出标》表三;另一个150万立方/天产水循环于测封产线洗掉,代替品等量新鲜的水;危险废弃物(挥发残液+生活污水)量比傳統"积累+排出"方式减约70%。对富士康侧,测封楼盘生态环保审批卡点打伤通;