该厂为89英寸晶圆带来线生活设施的超净水平台，天天带来含硅污水150吨。污海里虽无高价属，但硅含碳量高易积灰，且内阻率需完成18MΩ·cm就要使用。原本的处理工学院艺难以符合新公布的《智能电子工业化水环保问题物排污标准单位》（GB39731-2020）很大排污规定值。 废水处理工艺物质结构特征 包括环境环境有害特性 ：固体硅（200-300mg/L）、粒状硅（颗粒直径0.1-1μm） 特定要 ：TOC<10μg/L，硼分量<5μg/L 水的质量性能 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅有机化合物形态特征麻烦 进行处理施工工艺程序 全新主要包括"梯级膜剥离+电去化合物"组合成工艺流程： 微滤预处里 ：1μm瓷器膜阻拦大粒状硅，通量保持80LMH 阴离子交換不饱和树脂 ：D201大孔硅橡胶选购性气体吸附硅酸原子核 一级RO平台 ：弟一段收旧率60%，第五段进行高脱硼膜电子器件 EDI电去正离子 ：电流值强度2A/m²，继续除掉多余阴离子 分光光度计杀菌消毒 ：254nm红外光谱线用量40mJ/cm² 技术水平新亮点 规划设计专用工具阻硅剂（有机化学胺类混合物），推迟膜环保问题周期时间3倍 EDI包块研发流道设汁，硅出掉率增强至99.8% 手机在线硅阐述仪（预估范畴0.1-500μg/L）达到靶向操纵 运转成果 经第一方测量： 总硅从280mg/L降下来0.05mg/L 硼浓度从8μg/L调至0.3μg/L 机系统的回收利用率从原40%提高了至68% 膜换个周期时间延时至5年，年运作的成本有效降低35%