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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

工程项目底色 某玄幻半导体材料手工制造公司坐落长角形地区划分,其主要研发晶圆和存储芯片。在研发全过程中,晶圆锯开和抛光清理时间段带来不少精磨液废污水,日访问量产生量约50吨。鉴于废污水里面的有效高溶液浓度浮悬物、不锈钢铁离子及有机化学更改剂,直接性产生会对区域导致的明显生态破坏,公司人们非常建成技术专业清理公用设施。 废液成分表及渠道 粉磨液生活污水大部分由来于晶圆鑫霖环保中的化学上机器镜面抛光(CMP)步骤,大部分生态破坏物例如: 悬停粉末物 :二钝化硅、钝化铝等碾磨小粒,颗粒直径在0.1-1μm,质量浓度更是高达2000mg/L。 合金化合物 :铜、铁、锌等,来源于抛光剂垫破损及晶圆单单从表面材料层,铜铝离子浓度值约50mg/L。 有机酸含有剂 :收录表面层活性酶类剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。 酸碱平衡性成分 :pH值起伏较大大,一般是在2-11间。 加工处理方法具体步骤 重要性废水除理优点,选择“预除理+什么是生化+深入除理”组成加工制作工艺 : 调试池 :营养均衡水污染蓄水量,修改强酸强碱控制pH至比较适中。 混疑沉积 :添加PAC(汇聚氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),删去悬屏物和电解质溶液,沉降后SS删去率>90%。 促进氧化还原物氧化物 :通过Fenton化学制剂(H₂O₂+Fe²⁺)分解生产增加剂,COD去掉率达60%。 动物处置 :MBR膜怪物反响器进一次分解残余设计物,COD降为100mg/L如下。 阴阳离子传递 :上用树酯粘附铜铁离子,冒水铜含锌量<0.5mg/L。 砂滤+渗透性炭吸附 :保证喷水清晰,达成《污水渗漏融合排放出要求》(GB8978-1996)五级要求。 既定实际效果 体统加载相对稳定后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴阳离子<0.3mg/L。 工业废水处理方法处理率达40%,剩的未达标产生,年以减少废水处理方法产生1.7万吨。 治理成本费约15元/吨,远大于业一般。

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